Ohmic contact 개발을 위한 금속/SiC 계면 반응에 관한 연구

Interfacial reaction of metal/SiC thin film for ohmic contact

  • 지응준 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 김영일 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 백홍구 (연세대학교 금속공학과) ;
  • 박찬로 (포항공과대학 재료금속공학과) ;
  • 박찬경 (포항공과대학 재료금속공학과)
  • 발행 : 1994.11.01