한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

VLSI Metallization을 위한 Soft Cleaning

Soft Cleaning Techniques for VLSI Metallization

  • 이진호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김연태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 박종원 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 염근영 (성균관대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01
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