수소 플라즈마로 처리한 ITO 박막의 특성

Properties of ITO Thin Films Treated by Hydrogen Plasma

  • 신용현 (영남대학교 무기재료공학과) ;
  • 김현태 (영남대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01