한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

매몰층에 따른 Poly-Si 의 재질 평가에 관한 연구

The Study on material quality of poly-si for Buried Layers

  • 백승호 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 박재홍 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김형동 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 정종원 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 홍순관 (서울시립대학교 전자공학과) ;
  • 김철주 (서울시립대학교 전자공학과)
  • 발행 : 1994.11.01
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