한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

TIN위에 증착시킨 CVD Cu막과 electroless plated Cu막의 특성 비교

Comparison of the CVD Cu film with electroless plated Cu film on TiN

  • 발행 : 1994.11.01
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