Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1994.11a
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- Pages.40-40
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- 1994
이온선보조증착에 의한 Si(100)상에서 정합성장된 $Si_{1-x}Ge_{x}$ 층의 성장방식
Abstract
Keywords