한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

$Si_{2}H-{6}$ 과 $GeH_4$가스를 이용한 LPCVD $a-Si_{1-x}Ge_{x}$ 박막증착과 고상결정화 거동

Deposition of LPCVD $a-Si_{1-x}Ge_{x}$ alloy films using $Si_{2}H-{6}$ and $GeH_4$ and its soid phase crystallization behaviors

  • 발행 : 1994.11.01
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