저온 및 고온제작 Poly-Si TFT′s의 수소화 효과

hydrogenation Effects on Poly-Si TFT′s Fabricated in the Low and High Temperature

  • 이진민 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 하승호 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김영호 (수원대학교 전자재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01