금속박막층을 이용한 비정질 실리콘 박막의 저온결정화

Low Temperature Crystallization of Amorgous Si Films Using Metal Films

  • 이석운 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • 발행 : 1994.11.01