Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Struture of Polycrystalline Silicon Thin Films Prepared by the Solid Phase Crystallization

고상결정화 방법으로 형성된 다결정 실리콘 박막의 구조 연구

  • 송윤호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 박경호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 이용일 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 남기수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 유형준 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

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