한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

RF magnetron sputtering 법에 의한 $RuO_2$ 박막의 제조와 물성에 관한 연구

A Study on the Formation and Properties of $RuO_2$ Thin Films by RF magnetron Sputtering

  • 최재용 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 심규하 (한양대학교 무기재료공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01
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