전자선 증발법과 이온보조증착법에 의한 $CeO_2$ 박막의 성장 및 특성에 관한 연구

A Study on Growth & Characterization of $CeO_2$ Thin Films by Electron Beam Evaporation and Ion Beam Assisted Deposition

  • 김이태 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 어경훈 (강원대학교 재료공학과) ;
  • 소명기 (강원대학교 재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01