저압 유기금속 화학증착법을 이용한 InP, InGaAs 선택 에피성장

Selective area epitaxy of InP, InGaAs by LP-MOCVD

  • 이태완 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 문영부 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 윤의준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01