Sputtering 법으로 증착된 PZT박막의 전극에 따른 전기적 특성의 영향에 관한 연구

Electrode Effects on the Electrical Properties of PZT Thin Films Deposited by Sputtering Method

  • 조능호 (한국과학기술원 무기재료공학과) ;
  • 김호기 (한국과학기술원 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01