한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

APMOCVD 법에 의해 증착된 PZT[Pb(Zr,Ti)$O_3$ 박막의 강유전 특성에 관한연구

Characterization of ferroeletric properties of PZT thin film deposited by APMOCVD

  • 신주철 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 이종명 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 홍석경 (서울대학교 무기재료공학과) ;
  • 김형준 (서울대학교 무기재료공학과)
  • 발행 : 1994.11.01
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