Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

1994.05a
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Pages.168-170
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1994

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Fabrication of Wedge-shaped Si Tips using Wet Etching Process

습식식각법을 이용한 Wedge-shaped Si tip의 제작

박흥우 (서울시립대학교) ;
고창기 (서울시립대학교) ;
하병주 (서울시립대학교) ;
홍순관 (서울시립대학교) ;
김철주 (서울시립대학교) ;
주병권 (한국과학기술원) ;
정재훈 (한국과학기술원) ;
오용수 (한국과학기술원) ;
오명환 (한국과학기술원)

Published : 1994.05.01

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