Hydrogenation Effect of Poly-Si Thin-Film Transistors

다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 수소화 효과

  • 김진 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 이진민 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 김영호 (수원대학교 전자재료공학과)
  • Published : 1994.05.01