구리박막용 CVD를 위한 유기금속화합물 제조에 관한 연구

A Study on the Syntheses of Organometallic Compounds for Cu CVD

  • 황순택 (한국과학기술연구원 화공연구부) ;
  • 조영상 (한국과학기술연구원 화공연구부) ;
  • 최형수 (한국과학기술연구원 화공연구부)
  • 발행 : 1994.05.01