한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Microwave Plasma를 이용하여 증착한 diamond 박막의 증착변수에 따른 증착특성 연구

A study on the deposition characteristics of diamond films deposited by microwave plasma CVD

  • 김현호 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김흥회 (한국원자력연구소 원자력신소재개발실) ;
  • 국일현 (한국원자력연구소 원자력신소재개발실) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • 발행 : 1994.05.01
PDF 다운로드
⟨ 이전 논문 다음 논문 ⟩

초록

키워드