Microstructures and Electrical Properties of $SrTiO_3$ Thin Film with Oxygen Pressure

산소분압에 따른 $SrTiO_3$ 박막의 미세구조 및 전기적 특성

  • 원종학 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 장재은 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
  • 정재경 (삼성전자 반도체부문) ;
  • 마재평 (호남대학교 전자공학과)
  • Published : 1994.05.01