TEM study on the initial growth stage of GaAs film grown by MBE

Si 기판위에 MBE로 성장된 GaAs 박막의 초기성장에 관한 연구

  • 남산 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단)
  • Published : 1994.05.01