한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

진공분과 초청발표

Down-Sizing Clean and Dry Turbomolecular Pumping

  • Ormrod, S.E. (Edwards High Wacuum International, Crawley,UK) ;
  • Schofield, N. (Edwards High Wacuum International, Crawley,UK) ;
  • Wong, D.C. (Edwards High Wacuum International, Crawley,UK)
  • 발행 : 1994.02.01
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