한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

AES를 이용한 Silicide의 정량 분석

  • 김건호 (경상대학교 물리학과) ;
  • 전욱배 (경상대학교 물리학과) ;
  • 강치형 (경상대학교 물리학과) ;
  • 유철승 (경상대학교 물리학과)
  • 발행 : 1994.06.01
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