Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1994.06a
- /
- Pages.114-115
- /
- 1994
A Study on the Spputtering Rate of AlxGa1-xAs Materials for SIMS Quantification
이차이온질량분석의 정량화를 위한 $Al_xGa_{1-x}As$ 재료의 스퍼터링율 연구
Abstract
Keywords