이온빔 보조증착법에 의해 합성된 AIN 에피층의 구조분석

Structure Analysis of AIN Epitaxial layer Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

  • 김익현 (포항공과대학교 재료금속학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학교 재료금속학과)
  • 발행 : 1994.06.01