Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Structure Analysis of AIN Epitaxial layer Synthesized by Ion Beam Assisted Deposition

이온빔 보조증착법에 의해 합성된 AIN 에피층의 구조분석

  • 김익현 (포항공과대학교 재료금속학과) ;
  • 김선효 (포항공과대학교 재료금속학과)
  • Published : 1994.06.01
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Abstract

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