한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 1994년도 제7회 학술발표회 및 한·일 CVD 심포지움 논문개요집
- /
- Pages.83-83
- /
- 1994
Ionized Cluster Beam에 의한 Si 기판 위에 Cu 박막 증착
Deposition of Cu films on Si substrates by Ionized Cluster Beam
- Ki-hwan Kim (Deppartment of Ceramic Engineering, Yonsei University) ;
- Du- (Deppartment of Ceramic Engineering, Yonsei University)
- 발행 : 1994.06.01