Solid-Source Molecular Beam Eppitaxy를 이용한 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 성장시 $Si^+ 및 Ge^+$ 이온의 효과 연구

• 윤선진 (한국전자통신연구소) ;
• 이승창 (한국전자통신연구소) ;
• 김경수 (한국전자통신연구소) ;
• 박신종 (한국전자통신연구소)

• Published : 1994.06.01

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