Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1994.06a
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- Pages.74-74
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- 1994
Solid-Source Molecular Beam Eppitaxy를 이용한 $Si_{1-x}Ge_x$ 박막 성장시 $Si^+ 및 Ge^+$ 이온의 효과 연구
Abstract
Keywords