터보분자펌프를 이용한 1막 torr의 극고진공 조성

  • 조복래 (포항공과대학교 물리학과) ;
  • 이상태 (포항공과대학교 물리학과) ;
  • 정석민 (포항공과대학교 물리학과)
  • Published : 1994.06.01