Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1994.06a
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Pages.24-25
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1994

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Comparison of the Interface Characteristics for Dielectric/Metal System after In/Ex-situ Heat Treatments

절연문/금속 system의 In/Ex-situ 열처리에 의한 계면상태 비교연구

박형호 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
강동규 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
김경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
이재성 (경북대학교 전 자공학과) ;
이용현 (경북대학교 전자공학과)

Published : 1994.06.01

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Abstract

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