Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A Study on the electromigration pphenomenon in Al-1%Si metallization under D.C and Pulsed D.C conditions

D.C와 Pulsed D.C조건하에서의 Al-1%Si박막금속화의 Electromigration현상에 관한 연구.

  • 배성태 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 김대일 (광운대학교 전자재료공학과) ;
  • 전국진 (서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 김진영 (서울대학교 반도체공동연구소)
  • Published : 1994.02.01
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