Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 1994.02a
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- Pages.133-133
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- 1994
Effect of the gas pphase reaction in the deposition of the low temperature SiO2 thin films by Remote-PECVD
원거리 플라즈마 화학증착법에 이한 저온 이산화규소박막의 증착에서 기상반응의 영향
Abstract
Keywords