한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

SIM을 이용한 빔크기 측정과 박막두께 측정

  • 황경환 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 연구실(CppBL)) ;
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  • 최은하 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 연구실(CppBL)) ;
  • 조광섭 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 연구실(CppBL)) ;
  • 서윤호 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 연구실(CppBL)) ;
  • 강승언 (광운대학교 물리학과 대전입자빔 연구실(CppBL))
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  • A. L. Shabalin ;
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  • 발행 : 1994.02.01
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