Monte Carlo법을 이용한 저압화학증착 공정에서의 미세박막 증착패턴에 관한 전산모사

• 윤종하(학) (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실 / 산업과학기술연구소) ;
• 박상규(정) (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실 / 산업과학기술연구소) ;
• 이시우(정) (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실 / 산업과학기술연구소)

• 발행 : 1994.02.01

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