02)567-9486
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The Korean Vacuum Society
http://www.kvs.or.kr
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
(한국진공학회:학술대회논문집)
1994.02a
/
Pages.90-92
/
1994
The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
CVD로 제조한 다이아몬드 박막의 핵생성 밀도가 Morpphology에 미치는 영향
박영수
(삼성종합기술원 신소재연구실) ;
김성훈
(삼성종합기술원 신소재연구실) ;
이조원
(삼성종합기술원 신소재연구실)
Published : 1994.02.01
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