Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

플라즈마 이온 식각공정에서의 미세 식각 형상에 관한 이론적 연구

  • 박상규 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실, 산업과학기술연구소) ;
  • 이창덕 (포항공과대학 화학공학과 재료공정연구실, 산업과학기술연구소)
  • Published : 1994.02.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords