한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Double Metal 공정에서의 SM 및 Em 특성 개선

  • 심상철 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 김응수 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 조경원 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 정창범 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 송창섭 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 임순권 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발) ;
  • 최규헌 (삼성전자(주) 반도체 연구소 MICRO 공정개발)
  • 발행 : 1994.02.01
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