고정밀 박막 저항체용 $TaN_x$ film에서 Cr interlayer가 film의 저항온도계수 안정화에 미치는 영향에 관한 연구

• 허명수 (울산대학교 재료공학과) ;
• 천희곤 (울산대학교 재료공학과) ;
• 이건환 (한국기계연구원 박막기술실) ;
• 권식철 (한국기계연구원 박막기술실) ;
• 조동율 (울산대학교 재료공학과)

• 발행 : 1994.02.01

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