Growth of $Ta_2O_5$ Thin Film by Dual Ion Beam Assisted Deposition and in-situ Surface Analysis

• 조용범 (울산대학교 재료공학과) ;
• 김경중 (한국표준과학연구원 표면분석그룹) ;
• 구경완 (충청전산전문대) ;
• 천희곤 (울산대학교 재료공학과) ;
• 문대원 (한국표준과학연구원 표면분석그룹)

• 발행 : 1994.02.01

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