초고진공 전자 사이클로트론 공명 화학 기상 증착 장치에서 기판 DC 바이어스가 in situ 플라즈마 세정 및 저온 실리콘 에피증착에 미치는 영향

• 태흥식 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
• 황석희 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
• 박상준 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
• 윤의준 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과) ;
• 황기웅 (서울대학교 전기공학과 및 무기재료공학과)

• 발행 : 1994.02.01

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