Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1994.02a
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Pages.31-33
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1994

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

스퍼터링 챔버에 설치한 in-situ 타원해석기의 성능 평가

용정수 (아주대학교 물리학과) ;
박광범 (아주대학교 물리학과) ;
이순일 (아주대학교 물리학과) ;
김상열 (아주대학교 물리학과) ;
오수기 (아주대학교 물리학과)

Published : 1994.02.01

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Abstract

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