Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference (한국소음진동공학회:학술대회논문집)
- 1994.10a
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- Pages.52-57
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- 1994
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- 1598-2548(pISSN)
A study on dynamic design for the sub-micro vibration control of substructure in semi-conductor factory
반도체공장에서 미진동제어를 위한 격자보의 동적 설계에 관한 연구
Abstract
본 논문에서는 실험적 모우드해석법을 이용하여 현재, 국내에서 가동 또는 건설 중인 반도체공장의 세가지 유형에 대한 격자보의 동적특성을 분석, 결정하고 이를 격자보의 동적설계에 활용하고자 한다.
Keywords