Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1993.05a
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- Pages.144-144
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- 1993
A Study on Annealing Process of $Ar^{+}$ Implnanted silicon Using Ion Channeling, TEM and TW
Ion Channeling, TEM 그리고 TW를 이용한 $Ar^{+}$ 이온주입된 실리콘에서의 열처리과정 연구
Abstract
Keywords