Processing of $SrTiO_3$ Thin Film and Barrier Layer on Si Substrate

Si 기판상의 $SrTiO_3$ 박막과 Barrier Layer 제조

  • 김병구 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 최승철 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 백동규 (아주대학교 재료공학과) ;
  • 손봉균 (기초과학연구 지원센터)
  • Published : 1993.05.01