Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Electrical Characteristics of Silicon Oxynitride Thin Films Fabricated by ECR PECVD at Room Temperature

상온에서 ECR PECVD에 의해 형성된 실리콘 산화질화막의 전기적 특성

  • 이호영 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 전유찬 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 주승기 (서울대학교 금속공학과)
  • Published : 1993.11.01
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Abstract

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