Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

ION IRRADIATION EFFECT ON PECVD SILICON NITRIDE FILMS

PECVD 실리콘질화막에 대한 이온빔 방사효과

  • 이상환 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 이중환 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 서경수 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 박형호 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실)
  • Published : 1993.11.01
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Abstract

Keywords