High Resolution X-ray Diffraction of Heteroepitaxy

고분해능 X-선 회절을 이용한 이종접합분석

  • 김형문 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 김상기 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실) ;
  • 조경익 (한국전자통신연구소 반도체연구단 물성분석실)
  • Published : 1993.11.01