Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

집속이온빔 장치를 위한 액체갈륨이온원의 빔에너지 분포 및 퍼짐특성

  • 최은하 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과) ;
  • 안정철 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과) ;
  • 김연권 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과) ;
  • 황경환 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과) ;
  • 조광섭 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과) ;
  • 강승언 (FIB Laboratory, 광운대학교 물리학과)
  • Published : 1993.02.01
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