이온펌프의 초고진공영역에서의 배기특성 개선에 관한 연구

• 김정선 (성균관대학교 물리학과) ;
• 여환옥 (성균관대학교 물리학과) ;
• 이상균 (성균관대학교 물리학과) ;
• 부진효 (성균관대학교 화학과) ;
• 이순보 (성균관대학교 화학과) ;
• 박종윤 (성균관대학교 물리학과)

• 발행 : 1993.02.01

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