Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

1993.02a
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Pages.90-91
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1993

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)

권호 표지

Ion Beam Induced pprocesses in Spputtering of $Ta_2O_5$/Si Interfaces

문대원 (한국표준과학연구원 표면분석연구실) ;
김경중 (한국표준과학연구원 표면분석연구실) ;
김상열 (아주대학교 물리학과)

Published : 1993.02.01

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